半导体制造中常见的气化方式
今天我们就以三种常见的#热问计划#气化方式为例进行讲解：气泡法（Bubbler），液体注射法（Liquid Injection），固态升华法（Sublimation）。其中前两种方法用于液态前驱体，最后一种方法用在粉末前驱体中。
载气
气相色谱仪工作原理
气相色谱仪（Gas Chromatography, GC）的工作原理可概括为通过物质在气相和固定相中的分配差异实现混合物分离，并通过检测系统完成定性与定量分析。以下是其核心工作原理及系统组成的分项说明：
如何提高气相色谱仪的灵敏度
气相色谱仪（GC）的灵敏度直接影响分析结果的准确性和检测限。提高灵敏度可以从进样系统优化、色谱柱选择、检测器参数调整、载气流速控制、仪器维护等多个方面入手。以下是具体措施：